15“ LCM-bedruckter Halbleiter-ALD-Ring
Dieser Gasverteilerring aus Alumina mit einem Durchmesser von 15 Zoll wird von Alumina Systems mit Lithoz LCM Technologie hergestellt. Alumina Keramik wird verwendet, um konstanten Gasfluss und Druck zu gewährleisten, selbst wenn reaktive Gase verwendet werden. Die Lithoz-LCM-Technologie setzt dabei die Design-Flexibilität des 3D Drucks perfekt um und ermöglicht dank ihrer Präzision ein hochkomplexes Design mit derart leichten und dünnwandigen Strukturen, wie sie in konventioneller Herstellung nicht erzielbar sind. Die Herstellkosten des Gasverteilerrings sind signifikant reduziert, durch die digitale Lagerhaltung on demand werden dazu Lagerkosten eingespart und die Risiken in der Logistik dieses kritischen Bauteils praktisch eliminiert.